Autodifusão. A migração de átomos em materiais puros.
Coeficiente de difusão (D). A constante de proporcionalidade nas duas Leis de Fick.
Difusão. O movimento de matéria através da matéria.
Difusão em contorno de grão (
). Migração atômica ao longo de contornos de grão.
Difusão em superfície (
). Migração atômica ao longo da superfície de uma fase, por exemplo, ao longo de uma interface sólido-vapor.
Difusão em volume ou difusão no reticulado (
). Migração atômica através da massa do material.
Função erro (
). Uma função matemática encontrada em algumas soluções da Segunda Lei de Fick, definida convencionalmente da mesma forma que, por exemplo, as funções trigonométricas senos e co-senos.
Intersticial. Um átomo localizado no espaço existente entre posições da rede.
Par de difusão. A colocação de dois materiais em um contato tão íntimo que um material se difunde no outro.
Primeira Lei de Fick. O fluxo de espécies em difusão é proporcional ao gradiente de concentração.
Segunda Lei de Fick. A velocidade de variação de composição é proporcional à derivada da segunda (Laplaciana) da concentração.
Substitucional. Um átomo de impureza que ocupa a posição de um átomo da rede do material.